당사 특수가스는 산업용가스를 정제하여 순도를 Up Grade 한 초고순도 가스, 2가지 이상의 초고순도 가스를 혼합하여 제조한 혼합가스등을 최신 정제시스템 및 정밀 분석시스템을 통해 제조하고 있으며 또한, 국내에서 생산되지 않는 수입가스 등을 외국계 회사와 독점 계약하여 수입하고 있습니다.
당사 특수가스사업부는 반도체용 특수가스, 초고순도가스, 혼합가스, 표준가스, 기타특수가스로 분류하여 수요처에 공급합니다.

초고순도암모니아(NH3)

• · 용도
• WAFER의 질화막(SiNx, GaN) 형성, CVD공정의 Chamber cleaning

정제플랜트 제조능력 5N5 Grade : 1,600 ton/년7N Grade : 1,200 ton/년공급방식  용기(L) 충전량-밸브규격 용기(L) 충전량-밸브규격포장규격 항 목5N5 Grade7N Grade순 도NG₃ ≥99.9995%≥99.99999%수 분H₂O≤500 ppbv≤…

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번호	이미지	제목	글쓴이	날짜	조회
1		초고순도암모니아 초고순도암모니아(NH3) 정제플랜트 제조능력 5N5 Grade : 1,600 ton/년7N Grade : 1,200 ton/년공급방식  용기(L) 충전량-밸브규격 용기(L) 충전량-밸브…	관리자	04-30	2519

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